浙江大学8件成果拟许可，现将相关信息予以公示。

[1] 成果名称：基于自动跟踪的自由曲面光学元件形貌测量系统及方法

完成人：居冰峰; 杜慧林; 曾培阳; 孙安玉; 孙泽青

权利人：浙江大学

成果类型：发明专利

成果号：ZL201610119675.7

成果简介：本发明公开了一种基于自动跟踪原理的自由曲面光学元件形貌测量系统及方法，所述系统包运动模块、位置伺服模块和双频激光干涉仪。本发明采用探头自动跟踪的测量方法来拟合被测光学元件的形貌，能有效解决现有测量方法中探头不动带来的无法测量PV值较大的问题。同时采用彩色共焦测量原理，能使测量精度和分辨率都达到纳米级，测量量程达到10mm，弥补了现有探头对被测光学元件有可能造成损伤、精度不高和量程有限的问题。  

[2] 成果名称：同时检测薄壁回转体内外壁面形与厚度分布的方法与装置

完成人：居冰峰; 张文浩; 杜慧林; 李畅

权利人：浙江大学

成果类型：发明专利

成果号：ZL202210100986.4

成果简介：本发明公开了一种同时检测薄壁回转体内外壁面形与厚度分布的方法与装置。本发明通过底部转台、主测头转台与直线运动轴动子带动光谱共焦测头沿着薄壁壳类回转体的表面进行仿形扫描，可一次性实现薄壁壳类回转体内外壁面形与厚度分布的检测，不仅可避免在薄壁壳类回转体内部布置测头所造成的机械干涉，而且可保证内外壁面形测量数据以及厚度分布数据在三维空间内的坐标一致性，从而保障了整体测量精度，同时可适应如共形整流罩、半球陀螺谐振子等不同类型的薄壁壳类回转体的检测，为这类高端器件的制造过程提供一种兼具通用性、高效率与高精度的检测手段。

[3] 成果名称：一种双光路型激光位移传感器

完成人：居冰峰; 黄浩钧; 姜蕾; 陆宏杰

权利人：浙江大学

成果类型：发明专利

成果号：ZL201710199279.4

成果简介：本发明公开了一种双光路型激光位移传感器。分光镜、激光器、发射镜组和滤光片沿同一直线方向依次布置，滤光片安装在壳体的侧壁上朝向被测表面；左反射镜和右反射镜分别对称地布置在激光器的左右两侧，分光镜侧方布置有光敏器件和接收镜组，激光器、发射镜组和滤光片光轴重合并垂直于所述分光镜的光轴，分光镜的一面朝向光敏器件和接收镜组；左反射镜和右反射镜的反射光分别入射到分光镜的两面上分别发生反射和透射而光束叠加，再一起经接收镜组成像于光敏器件。本发明所述的双光路结构，减小了不均匀被测表面导致的测量误差，并且结构紧凑，硬件成本低，装调容易。

[4] 成果名称：一种用于共形光学元件的面形测量装置及方法

完成人：居冰峰; 张文浩; 杜慧林; 孙安玉

权利人：浙江大学

成果类型：发明专利

成果号：ZL201910795981.6

成果简介：本发明公开了一种用于共形光学元件的面形测量装置及方法；本发明包括水平基座、龙门式测量平台、X轴直线运动台、Z轴直线运动台、探头转台、距离传感器、工件转台、计算机；龙门式测量平台安装在所述水平基座上，X轴直线运动台安装于龙门式测量平台的横梁上；Z轴直线运动台固定于X轴直线运动台上；探头转台安装于Z轴直线运动台底端，距离传感器固定在探头转台上；工件转台固定在水平基座上，工件转台的回转轴线与传感器轴线在同一水平面上，计算机连接各运动组件，本发明通过多轴联动轨迹规划实现共形光学元件的跟踪扫描，突破高精度距离传感器的小量程限制，实现大陡度、高长径比共形光学元件的超精密面形检测。

[5] 成果名称：用于自由曲面形貌测量的光学自聚焦探头

完成人：居冰峰; 杜慧林; 孙安玉; 孙泽青

权利人：浙江大学

成果类型：发明专利

成果号：ZL201410266720.2

成果简介：本发明公开了一种用于自由曲面形貌测量的光学自聚焦探头，包括线偏振激光源模块、物镜、分光器模块、自聚焦伺服模块、离焦量测量模块、角度测量模块和机架；本发明通过将一束能量呈高斯分布的线偏振激光聚焦到被测表面上，从反射光中提取被测表面的离焦量并以此作为自聚焦伺服单元的反馈信号实现自动聚焦，同时在对焦的过程中完成对被测面倾角的测量，有效消除了表面倾角对探头灵敏度的影响；能够通过测得的离焦量消除伺服跟踪误差造成的形貌测量误差，实现了纳米级的精度和毫米级的量程，本发明结合高精度运动机构能够实现对自由曲面轮廓的精密扫描测量。

[6] 成果名称：一种用于光学元件亚表面缺陷检测的装置及方法

完成人：孙安玉; 钟皓泽; 居冰峰; 管凯敏; 杨筱钰; 陈远流; 朱吴乐

权利人：浙江大学

成果类型：发明专利

成果号：ZL202110896661.7

成果简介：本发明公开了一种用于光学元件亚表面缺陷检测的装置及方法。本发明将光谱共焦技术、激光散射技术和激光诱导超声技术结合起来，通过色散镜组将激发激光和检测激光同时聚焦到光学元件的不同深度，激发激光在光学元件亚表面产生瞬态热膨胀效应，检测激光观测并分析亚表面缺陷在热膨胀效应作用下的超声振动，由光谱共焦技术获取亚表面缺陷位置散射光的空间分布信息及散射光谱信息。通过利用上述技术得到缺陷的反射光谱、散射光谱、三维形状、缺陷深度等多维度信息，进行亚表面缺陷的损伤表征。本发明适用于对亚表面缺陷有严苛要求的超精密光学元件的成品无损检测。

[7] 成果名称：同时检测薄壁回转体内外壁面形与厚度分布的方法与装置

完成人：居冰峰; 张文浩; 杜慧林; 李畅

权利人：浙江大学

成果类型：发明专利

成果号：US18193658

成果简介：本发明公开了一种同时检测薄壁回转体内外壁面形与厚度分布的方法与装置。本发明通过底部转台、主测头转台与直线运动轴动子带动光谱共焦测头沿着薄壁壳类回转体的表面进行仿形扫描，可一次性实现薄壁壳类回转体内外壁面形与厚度分布的检测，不仅可避免在薄壁壳类回转体内部布置测头所造成的机械干涉，而且可保证内外壁面形测量数据以及厚度分布数据在三维空间内的坐标一致性，从而保障了整体测量精度，同时可适应如共形整流罩、半球陀螺谐振子等不同类型的薄壁壳类回转体的检测，为这类高端器件的制造过程提供一种兼具通用性、高效率与高精度的检测手段。

[8] 成果名称：同时检测光学元件表面和亚表面缺陷的装置和方法

完成人：孙安玉；李智宏；居冰峰;王传勇；杨筱钰；孙泽青；杜慧林

权利人：浙江大学

成果类型：发明专利

成果号：US16960063

成果简介：提供了一种用于同时检查光学元件的表面和下表面的缺陷的装置和方法。结合激光诱导超声和激光散射检测技术，通过激光在待测光学元件的表面和亚表面产生声声波，观察和分析声声波调制下亚表面缺陷的静态光散射效应；通过分析散射光强度和反射光强度的幅值和相位变化，实现对光学元件表面和亚表面缺陷的检查。本发明可应用于精密光学元件的质量检测，尤其适用于对表面下缺陷有严格要求的超精密光学元件的成品检测。

转化方式：普通许可（许可年限：自合同签订之日起10年）

定价方式：协议定价

转化价格：1000万元（100万元首期款+900万元里程碑付款）

关联情况：非关联

公示期自2024年12月13日至2024年12月27日。如有异议，请在公示期内向工业技术转化研究院提交异议书及有关证据。

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工业技术转化研究院

2024年12月13日